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第一章 总论1

第二章 直接光交联型感光树脂3

第一节 重铬酸胶3

一、重铬酸胶的组成及其种类3

二、重铬酸胶的感光特性4

三、重铬酸胶的若干新发展6

四、使用重铬酸胶的安全知识7

第二节 光二聚化型感光树脂7

一、肉桂酸酯类8

二、肉桂叉系感光树脂14

（一）肉桂叉乙酸酯类14

（二）肉桂叉丙二酸酯16

三、其他含肉桂叉基感光树脂17

四、具α-，β-不饱和酮基的感光树脂17

五、苯乙烯基吡啶型20

六、含马来酰基的感光树脂20

七、其他光二聚化型感光树脂21

第三章 光聚合型感光树脂25

第一节 单体和光源以及增感剂的选择26

一、单体26

二、光源26

三、增感剂30

（一）含羰基化合物30

（二）过氧化物32

（三）含硫化合物32

（四）含氮有机化合物33

（五）含卤素化合物33

（六）色素（染料）的增感33

（七）其他34

第二节 光聚合型感光树脂的组成及其应用34

一、丙烯酰类单体＋聚合物体系34

（一）丙烯酰类单体＋饱和性聚合物体系34

（二）丙烯酰类单体＋不饱和聚酯体系46

二、含丙烯酰基的感光树脂52

三、以烯丙基为感光基的感光树脂56

四、含苯乙烯基的感光性聚合物59

五、其他光聚合型感光树脂60

第四章 光分解型感光树脂63

第一节 重氮系感光树脂63

一、重氮盐类63

（一）重氮盐的基本特性63

（二）重氮盐＋聚合物体系64

（三）含重氮基聚合物66

二、重氮醌类68

（一）邻—重氮醌68

（二）对—重氮醌类74

（三）对—亚氨基重氮醌类74

第二节 以叠氮基为感光基的感光树脂75

一、叠氮化合物＋聚合物体系76

（一）橡胶系抗蚀剂79

（二）聚环乙二烯系82

（三）酚醛树脂系抗蚀剂82

（四）醇酸树脂系抗蚀剂83

（五）聚乙烯醇衍生物系抗蚀剂83

（六）（甲基）丙烯酸酯及其衍生物的共聚体系84

（七）聚氯乙烯系感光性组成物84

（八）环氧氯丙烷衍生物系抗蚀剂84

（九）水溶性叠氮型抗蚀剂84

二、叠氮聚合物85

第三节 其他光分解型感光树脂91

一、含卤素化合物91

二、含硫有机化合物92

第五章 其他类型的感光树脂94

一、含炔键感光树脂94

二、含硝基的感光树脂95

三、若干特殊的感光性组成物95

参考文献97