图书介绍

纳米晶金刚石膜的制备与物性【2025|PDF|Epub|mobi|kindle电子书版本百度云盘下载】

彭鸿雁，赵立新著著
出版社：哈尔滨：黑龙江教育出版社
ISBN：9787531648550
出版时间：2007
标注页数：142页
文件大小：10MB
文件页数：152页
主题词：纳米材料－金刚石－薄膜－制备；纳米材料－金刚石－薄膜－物性学

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图书目录

第一章纳米晶金刚石膜概述1

第一节纳米晶金刚石膜的研究概况2

第二节纳米金刚石薄膜的制备技术6

一、纳米金刚石膜的制备设备6

二、纳米金刚石膜的制备工艺11

第三节纳米金刚石膜的应用前景16

一、摩擦磨损16

二、冷阴极场发射18

三、电化学应用18

四、微型机电领域19

五、光学涂层19

六、其他应用20

第二章纳米金刚石膜的制备设备与表征手段28

第一节纳米金刚石膜制备设备28

第二节热阴极等离子体的光发射谱检测30

一、等离子体的光发射谱诊断31

二、光纤光谱仪检测等离子的测量原理31

三、光发射谱及等离子体基本参数的测量34

四、光发射谱（OES）在金刚石膜沉积中的应用36

第三节纳米金刚石膜的形貌、结构和性能表征39

一、扫描电子显微镜（SEM）39

二、激光拉曼光谱（Raman Shift）40

三、X射线衍射（XRD）43

四、金刚石膜的电学性能表征44

第三章气体的直流辉光放电理论52

第一节低压气体的放电与击穿53

第二节低压气体的直流辉光放电56

一、阴极区57

二、阴极区性质58

三、正柱区62

四、正柱区粒子分布62

第三节高气压下的直流辉光放电特点68

一、起辉过程68

二、高气压下的直流辉光放电的放电状态68

第四节等离子体中气体的分解71

一、气体的激发与电离71

二、等离子体中的反应72

第四章 CH4/H2体系制备纳米金刚石膜76

第一节 CH4/H2体系制备纳米金刚石膜的原理76

一、表面预处理提高纳米金刚石形核密度77

二、纳米金刚石膜的气相形核77

三、纳米晶金刚石膜的生长79

第二节氢甲烷气体体系制备纳米金刚石膜工艺81

一、样品制备81

二、结果与讨论81

本章小结91

第五章 Ar/H2/CH4气体体系制备纳米金刚石膜94

第一节 Ar/H2/CH4体系沉积纳米金刚石膜机理94

一、Ar/H2/CH4体系制备纳米金刚石薄膜的生长基团94

二、Ar气在纳米金刚石薄膜制备过程中的作用分析96

第二节 Ar/H2/CH4气体体系制备纳米金刚石膜工艺研究99

一、衬底表面预处理99

二、样品制备参数100

三、结果与讨论100

本章小结109

第六章纳米金刚石膜的硼掺杂研究113

第一节金刚石膜的硼掺杂研究概述113

一、概述114

二、掺硼金刚石膜的研究现状116

三、掺硼金刚石膜的应用117

第二节硼掺杂纳米金刚石膜的制备与物性120

一、硼掺杂纳米金刚石膜的制备120

二、结果与讨论122

三、掺硼金刚石膜的电学性质129

本章小结132

第七章全书总结138