图书介绍

硅基纳米电子学【2025|PDF|Epub|mobi|kindle电子书版本百度云盘下载】

姜岩峰编著著
出版社：北京：化学工业出版社
ISBN：9787122096296
出版时间：2011
标注页数：215页
文件大小：54MB
文件页数：225页
主题词：硅－纳米材料－电子器件

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图书目录

第1章硅纳米电子学理论基础1

1.1 Hartree-Fock方程（HF方程）1

1.1.1 Hartree近似1

1.1.2 Hartree-Fock方程3

1.2格林函数7

1.2.1泊松方程的格林函数7

1.2.2镜像法求格林函数8

1.2.3应用格林函数计算纳米尺寸电子器件的电学性能9

1.3 CMOS器件中的尺度效应和模型15

1.3.1薛定谔-泊松解法解决平衡情况下的器件16

1.3.2连接两个费米能级不同的接触电极下的情况17

1.3.3一维器件的平衡能带图21

1.3.4连续传输27

1.3.5非连续传输30

第2章纳米电子学工艺概论35

2.1纳米加工技术概述35

2.1.1概述36

2.1.2采用电子束曝光或电子束刻蚀技术制作量子结构38

2.1.3采用聚焦离子束加工技术制作量子结构39

2.1.4采用微细加工技术制作量子结构39

2.1.5采用扫描隧道显微镜技术制作量子结构40

2.1.6纳米微晶硅薄膜材料简介41

2.2纳米工艺42

2.2.1光刻胶42

2.2.2光刻44

2.2.3图形转移49

2.3纳米电子学51

2.3.1纳米器件53

2.3.2纳米晶体管设计57

2.3.3纳米电光学62

2.3.4物理学模型和器件仿真63

2.3.5总结64

第3章硅基隧穿二极管及集成电路65

3.1简介65

3.2隧穿理论66

3.2.1隧穿电流的成分66

3.2.2隧穿电流密度68

3.2.3隧穿二极管的开关时间73

3.3垂直隧穿二极管的制备76

3.3.1基于上旋扩散杂质的快速热扩散工艺76

3.3.2上旋扩散剂77

3.3.3隧穿二极管制造工艺78

3.4隧穿二极管的特性和集成电路82

3.4.1所制备隧穿二极管的特性82

3.4.2隧穿二极管振荡器88

3.4.3高速隧穿二极管/传输线脉冲发生器89

第4章单电子器件及其电路92

4.1电导振荡——Coulomb振荡现象92

4.2 Coulomb阻塞效应93

4.3电流偏置下单个隧道结的I-V特性96

4.4单电子晶体管（SET）的Coulomb阻塞工作状态98

4.5单电子晶体管的Ip随VG的振荡——Coulomb振荡100

4.6超导态的Coulomb阻塞效应101

4.7单电子静电计105

4.8半导体量子点旋转门105

4.9单电子晶体管（SET）107

4.10单电子晶体管的典型结构109

4.11单电子“类CMOS倒相器”112

4.12单电子晶体管存储器113

4.13单电子晶体管逻辑电路115

4.14量子网络自适应器件（QCA）115

第5章硅纳米线及纳米线异质结构117

5.1简介117

5.2硅纳米线118

5.2.1 SiNW的制造方法和结构特征118

5.2.2 SiNW的电学性能121

5.3纳米电子学中SiNW的应用127

5.3.1相交的纳米线结构和器件127

5.3.2基于相交纳米线的逻辑门129

5.3.3地址译码器130

5.3.4在非传统衬底上的纳米线电子学132

5.4构造大规模层次化SiNW阵列的方法132

5.4.1 Langmuir-Blodgett纳米线装配方法132

5.4.2纳米线器件的可变尺寸的集成136

5.4.3高频纳米线电路138

5.5 SiNW作为纳米级传感器138

5.5.1纳米线场效应传感器138

5.5.2单病毒检测140

5.5.3单病毒的多级检测142

5.6 SiNW异质结构142

5.6.1 NiSi/SiNW异质结142

5.6.2掺杂浓度调制的SiNW144

5.6.3分支和超分支SiNW148

第6章其他硅基纳米电子器件151

6.1电子波电子学151

6.1.1电子波和电子波函数的相位相关性151

6.1.2介观体系的特殊性质154

6.1.3二维电子气的量子Hall效应简介156

6.1.4介观体系的电导涨落效应、非局于性效应和持续电流效应157

6.1.5弹道区的量子化电导效应162

6.1.6量子干涉的表征和实现量子干涉的条件166

6.2电子波器件170

6.2.1电子波干涉计型器件170

6.2.2电子波导型器件170

6.2.3电子波衍射器件172

6.2.4谐振隧穿器件173

6.2.5量子线沟道FET178

6.2.6速度调制晶体管（VMT）179

6.2.7平面超晶格FET179

6.3纳米集成电路概论181

6.3.1传统CMOS结构的纳米器件181

6.3.2纳米量子电子器件183

6.3.3纳米集成电路中的连接线183

6.3.4纳米IC设计中的问题185

6.3.5纳米集成电路的设计方法学——持续收敛方法学185

第7章存储电阻189

7.1简介189

7.2存储电阻特性193

7.3存储电阻的SPICE宏模型205

7.4相关电磁场理论210