图书介绍
集成电路制造工艺员 中级【2025|PDF|Epub|mobi|kindle电子书版本百度云盘下载】
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- 邓善修主编 著
- 出版社: 北京:中国劳动社会保障出版社
- ISBN:9787504558718
- 出版时间:2007
- 标注页数:160页
- 文件大小:10MB
- 文件页数:169页
- 主题词:集成电路工艺
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图书目录
第1单元 绪论3
1.1 集成电路产业发展的历史3
1.2 我国集成电路产业发展的历史和现状6
思考题9
第2单元 半导体基础知识13
2.1 半导体物理基础知识13
2.2 晶体管原理37
思考题44
第3单元 集成电路制造工艺47
3.1 半导体衬底制备47
3.2 氧化工艺53
3.3 光刻工艺61
3.4 掺杂工艺72
3.5 淀积和刻蚀80
3.6 多层金属化88
3.7 工艺集成95
思考题105
第4单元 集成电路制造相关设备及操作入门105
4.1 集成电路制造环境和安全生产109
4.2 氧化工艺设备及操作入门116
4.3 光刻工艺设备及操作入门126
4.4 掺杂工艺设备及操作入门134
4.5 淀积与刻蚀工艺设备及操作入门139
4.6 金属化工艺设备及操作入门155
思考题160
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