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第1章 电子制造装备技术概述1

1.1 电子制造1

1.1.1 电子产品制造1

1.1.2 电子制造技术2

1.2 电子制造装备的分类与基本组成5

1.2.1 电子制造装备分类5

1.2.2 电子制造典型装备的基本组成7

1.2.3 电子制造装备技术基础11

1.3 电子制造装备技术特点14

1.4 本书的研究目的和主要内容16

1.4.1 本书的研究目的16

1.4.2 本书的研究内容16

参考文献18

第2章 电子制造主要工艺与设备19

2.1 概述19

2.2 半导体制造关键工艺与设备19

2.2.1 薄膜生成工艺与设备21

2.2.2 图形转移工艺与设备25

2.2.3 掺杂工艺与设备33

2.2.4 其他辅助工艺与设备34

2.3 芯片封装工艺与设备37

2.3.1 硅片检测38

2.3.2 芯片传统装配与封装41

2.3.3 先进装配与封装48

2.4 基板及膜电路制造工艺与设备53

2.4.1 基板制造53

2.4.2 厚膜、薄膜电路制造58

2.5 表面贴装工艺与设备60

2.5.1 焊料涂敷工艺与设备62

2.5.2 胶黏剂涂敷工艺与设备65

2.5.3 贴片工艺与设备66

2.5.4 焊接工艺与设备68

2.5.5 表面组装工艺中的检测71

参考文献72

第3章 光电检测与加工技术73

3.1 概述73

3.2 光电检测技术74

3.2.1 光电检测系统的结构与类型74

3.2.2 图像检测技术原理与应用82

3.3 光电加工技术88

3.3.1 光电加工系统的结构与类型88

3.3.2 光电加工技术原理89

参考文献98

第4章 电子制造典型装备及其关键技术100

4.1 概述100

4.2 光学曝光机100

4.2.1 光学曝光机简介100

4.2.2 掩模对准式曝光机101

4.2.3 投影式曝光机103

4.2.4 极紫外光曝光机114

4.3 芯片互连技术与设备117

4.3.1 引线键合技术与设备118

4.3.2 倒装芯片键合技术与设备124

4.4 激光加工设备131

4.4.1 电子制造工艺中激光加工技术的应用131

4.4.2 激光划片机132

4.5 贴片技术与贴片机136

4.5.1 贴片技术136

4.5.2 贴片机系统构成142

4.5.3 高速多功能贴片机149

4.6 自动光学检测（AOI）系统152

4.6.1 AOI系统工作原理与系统组成154

4.6.2 典型AOI设备介绍159

参考文献161

第5章 高精度运动系统及定位技术162

5.1 概述162

5.2 高精度电子制造设备主传动机构164

5.2.1 主传动机构的设计要求164

5.2.2 主传动机构的主要形式164

5.2.3 工作头传动定位机构167

5.2.4 精密工件台定位技术170

5.3 电子制造设备的精度分析174

5.3.1 精度概念解析174

5.3.2 系统误差的分析计算176

5.3.3 精密工件台精度分析177

5.3.4 基于多体系统理论的误差建模分析179

5.4 影响传动机构精度的因素181

5.4.1 机械系统特性参数对系统的影响181

5.4.2 机械结构的减振技术184

5.4.3 机械结构热变形与对策187

5.5 高精密运动单元189

5.5.1 精密传动单元189

5.5.2 精密导向单元194

5.5.3 精密支承单元198

5.5.4 精密微动单元201

参考文献204

第6章 精密对准技术及应用206

6.1 概述206

6.2 典型的精密对准技术207

6.2.1 莫尔条纹对准技术207

6.2.2 相位光栅TTL对准技术209

6.2.3 视频图像对准技术211

6.3 精密对准技术中的关键技术215

6.3.1 精密测量技术215

6.3.2 宏动／微动技术217

6.3.3 控制技术221

6.4 精密对准技术的实现案例222

6.4.1 系统组成及工作原理222

6.4.2 宏动／微动平台设计224

6.4.3 粗精复合控制225

参考文献228

第7章 电子制造典型技术装备设计实例229

7.1 概述229

7.2 实验平台的设计思想230

7.2.1 实验平台的用途和功能231

7.2.2 实验平台的设计原则232

7.3 实验平台方案设计232

7.3.1 系统组成232

7.3.2 系统总体方案与指标235

7.3.3 系统主体结构237

7.4 实验平台机械系统设计238

7.4.1 基座结构特征238

7.4.2 主要工作参数设计240

7.4.3 工作系统设计242

7.4.4 主传动系统设计245

7.5 视觉检测系统设计254

7.5.1 视觉检测系统的构成及主要参数254

7.5.2 图像处理算法设计256

7.5.3 坐标转换261

7.6 主控制系统设计263

7.6.1 基于上位机的控制系统设计263

7.6.2 基于PLC的基础平台控制系统设计264

7.6.3 基于单片机的工作平台控制系统设计267

参考文献268