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目录1

1　概述1

1.1　工业洗净概念及洗净目的1

1.2　传统工业清洗与精密洗净2

1.3　精密洗净的方法2

1.4　湿法清洗的基本过程3

1.5　清洗能力和清洁度5

1.6　洗净五要素6

1.7　清洗与其他生产工序的关系7

1.8　清洗与环境保护7

1.9　清洁度与产品质量8

1.10　精密洗净的原理和特点10

1.11　精密洗净所采用的技术手段12

1.12　精密洗净技术的应用范围13

1.13　精密洗净技术在我国的发展14

1.14　保护臭氧层与替代氟氯烃清洗17

1.15　对精密洗净技术的展望19

2　洗净机理21

2.1　污染物对工件表面的粘附21

2.1.1　污染物粘附的原因21

2.1.2　污染物粘附的性质21

2.1.3　污染物的种类24

2.1.4　工件材质与粘附26

2.2　润湿与表面张力27

2.2.1 润湿27

2.2.2　润湿角27

2.2.3　表面张力28

2.2.4　界面张力29

2.2.5　清洗介质、污染物、工件表面三者之间的相互关系30

2.3　溶剂清洗的基本法则31

2.3.1　污染物的极性31

2.3.2　清洗介质的极性32

2.3.3　溶剂对溶质的溶解32

2.3.4　清洗介质对污染物的相溶法则33

2.3.5　对清洗介质溶解能力的判断33

2.4　水基清洗机理35

2.4.1　水的分子结构和特性35

2.4.2　水的溶解清洗能力36

2.4.3　乳化清洗作用36

2.4.4　皂化作用37

2.6.1　超声波清洗的原理38

2.5　对金属离子的螯合作用38

2.6　超声波清洗作用38

2.6.2　超声波的声压强度与空化作用39

2.6.3　超声波的频率与空化作用39

2.6.4　超声空化作用与清洗介质的物理性质39

2.6.5　超声波在清洗介质中的传播40

2.7　酸洗机理41

2.8　电解除油机理42

2.9　机械能和热能42

2.10　生物能43

3　洗净对象（污染物与工件）44

3.1 污染物44

3.1.1　油脂类污染物44

3.1.3　油脂性污染物兼有水溶性污染物47

3.1.2　水溶性类污染物47

3.1.4　固体微粒类污染物48

3.1.5　助焊剂类污染物49

3.1.6　离子类污染物51

3.1.7　氧化物类污染物51

3.1.8　积炭类污染物51

3.1.9　液晶类污染物52

3.1.10　微生物类污染物52

3.2　工业生产中常见的清洗工件52

3.2.1　钢铁类零件52

3.2.2　不锈钢类零件53

3.2.3　铜合金类零件53

3.2.4　铝、镁合金类零件54

3.2.6　塑料类零件55

3.2.5　钛合金类零件55

3.2.7　硅片类零件56

3.2.8　光学玻璃类零件56

3.2.9　陶瓷类零件57

3.2.10　印制电路板类零件57

4　清洗介质58

4.1　对清洗介质的基本要求58

4.1.1　对有机溶剂类清洗介质的基本要求58

4.1.2　对水基类清洗介质的基本要求58

4.2　清洗介质的分类59

4.2.1　有机溶剂清洗剂59

4.2.2　水基类清洗剂60

4.3　ODS类清洗剂（破坏臭氧层类）60

4.3.1　三氟三氯乙烷60

4.3.2　1,1,1-三氯乙烷65

4.3.3　四氯化碳67

4.4　过渡性替代ODS类清洗溶剂68

4.4.1 HCFC-12368

4.4.2 HCFC-141b69

4.4.3 HCFC-22570

4.5　替代ODS类（不破坏臭氧层）汽相清洗剂72

4.5.1　HFC-4310清洗溶剂72

4.5.2　HFC-245fa77

4.5.3 HFC-365mfc78

4.5.4 HFE-7100清洗剂78

4.5.5 全氟化碳清洗剂（PFC）79

4.6　溴代烃类清洗剂——正溴丙烷，简称nPB80

4.7.1　二氯甲烷81

4.7　氯代烃类清洗剂——氯化溶剂81

4.7.2　三氯甲烷（氯仿）83

4.7.3　三氯乙烯84

4.7.4 四氯乙烯86

4.8　烃类清洗剂88

4.9　萜烯类清洗剂100

4.10　醇类清洗剂101

4.11　酮类清洗剂102

4.11.1　丙酮清洗剂102

4.11.2　N-甲基吡咯烷酮（NMP）清洗剂103

4.12　乙二醇醚类清洗剂104

4.12.1 乙二醇-甲醚（甲基溶纤剂）104

4.12.2　乙二醇-乙醚（乙基溶纤剂）105

4.12.3　乙二醇-丁醚（丁基溶纤剂）105

4.12.4　乙二醇二乙醚106

4.13 甲基硅氧烷类（VMS）清洗剂107

4.12.5　丙烯-乙二醇-甲基醚107

4.14　酯类清洗剂108

4.15　水系清洗剂109

4.15.1　碱性清洗剂109

4.15.2　酸性清洗剂113

4.15.3　以表面活性剂为主的中性清洗剂116

4.15.4　乳化类清洗剂128

4.16　酶类清洗剂129

4.17　植物系清洗剂130

4.18 自来水与纯水清洗介质130

4.18.1　水中的杂质130

4.18.2 自来水131

4.18.3　去离子水132

4.19　功能水清洗介质133

5　精密洗净工艺134

5.1　设计精密洗净工艺应考虑的因素134

5.2　精密洗净工艺的内容136

5.3　清洗方式和特点138

5.4　工件干燥方法和特点140

5.5　精密洗净基本工艺和特点143

5.5.1　有机溶剂类基本清洗工艺和特点143

5.5.2　半水溶剂清洗的基本工艺和特点149

5.5.3　水基清洗的基本工艺和特点151

5.6　电子零部件类的精密洗净工艺152

5.6.1 电子线路板的精密洗净工艺152

5.6.2　液晶显示器精密洗净工艺163

5.6.3　彩色显像管电子零件的精密洗净工艺169

5.6.4　计算机存储器磁头的精密洗净工艺172

5.6.5　继电器精密洗净工艺173

5.6.6　电子调谐器的精密洗净工艺174

5.6.7　厚膜电路的精密洗净工艺174

5.6.8　电子线材的精密洗净工艺175

5.6.9　瓷介电容器精密洗净工艺176

5.6.10　硅片的精密洗净工艺176

5.7　精密机械的洗净工艺177

5.7.1 电机类零件的精密洗净工艺177

5.7.2　滚珠轴承的精密洗净工艺178

5.7.3　手表零件的精密洗净工艺179

5.7.4　全封闭压缩机零件的精密洗净工艺180

5.7.5　刀具镀膜零件的精密洗净工艺183

5.7.6　油泵、油嘴零件的精密洗净工艺184

5.7.8　制氧机零件的精密洗净工艺185

5.7.7　空调热交换器的精密洗净185

5.7.9　液压件的精密洗净工艺187

5.8　玻璃和光学透镜类零件的精密洗净工艺188

5.8.1　液晶显示器玻璃基板的精密洗净工艺188

5.8.2　光学透镜的精密洗净工艺189

6　精密洗净设备192

6.1　精密洗净设备的基本要求192

6.2　精密洗净设备的分类192

6.2.1　按生产规模分类192

6.2.2　按使用的清洗工艺分类193

6.2.3　按清洗方式分类194

6.3　精密洗净设备的基本结构195

6.4　精密洗净设备的设计197

6.4.1　汽相清洗机的设计要点197

6.4.2　烃类溶剂清洗设备的设计要点210

6.4.3 半水溶剂清洗设备的设计要点211

6.4.4　水清洗设备的设计要点211

6.5　精密洗净设备的基本类型214

6.5.1　汽相清洗机的基本类型214

6.5.2　烃类溶剂清洗设备基本类型218

6.5.3　半水溶剂清洗设备的基本类型221

6.5.4　水清洗设备的基本类型222

6.6　典型工件的精密洗净设备223

6.6.1　电子线路板的精密洗净设备223

6.6.2　液晶显示器的精密洗净设备229

6.6.3　继电器的精密洗净设备231

6.6.4　彩色显像管框架清洗机231

6.6.6　电子枪零件清洗设备233

6.6.5　彩色显像管荫罩零件清洗机233

6.6.7　电子线材清洗机234

6.6.8 高转速轴承的精密洗净设备234

6.6.9　全封闭压缩机的精密洗净设备235

6.6.10　液晶玻璃基板的精密洗净设备237

6.6.11　光学镜片的清洗设备239

6.7　洗净设备的配套附属装备240

6.7.1　溶剂蒸馏回收设备240

6.7.2　冷冻水箱241

6.7.3　纯水处理设备242

6.7.4　污水处理设备246

7　清洁度检测和评价249

7.1　概述249

7.2　对工件表面残留油污的检测250

7.3　对工件表面残留粒子污染的检测252

7.4　电子线路板表面离子污染的检测254

7.5　电子线路板表面助焊剂残留物检测255

7.6　电子线路板表面绝缘电阻检测256

7.7　其他一些分析测试仪器检测257

7.8　电子线路板清洁度标准257

7.9　机械的工业清洁度标准258

7.9.1　SAE 749D—1963《液压油污染度等级》258

7.9.2 NAS—1638《液压系统零件清洁度标准》258

7.9.3　MIL-std-1246A《液压系统清洁度标准》259

7.9.4　MIL-H-5606C《液压系统清洁度标准》259

7.9.5 ISO 4406—1987《液压传动-油液-固体颗粒污染等级代号法》260

7.9.6 ГОСТ 6370—59《技术用液清洁度标准》260

7.9.7 ГОСТ 17216—71《工业清洁度标准液体清洁度等级》261

7.9.8　我国制定的有关机械清洁度标准262

8.1.1　汽相清洗中溶剂损耗过多问题的管理265

8　精密洗净作业的管理265

8.1　汽相清洗中洗净作业的管理265

8.1.2　清洗槽被酸化腐蚀问题的管理267

8.1.3　清洗溶剂中出现水分过多问题的管理269

8.1.4　清洗不干净，工件上残留较多杂质问题的管理269

8.2　水基清洗中洗净作业的管理271

8.3　洗净作业中的安全性管理274

8.3.1　可燃性溶剂清洗中的安全管理274

8.3.2　溶剂使用中防止中毒和保护操作者健康的管理276

8.4　清洗作业中环境保护方面的管理279

8.4.1　大气环境保护的管理279

8.4.2　水环境的保护管理281

附录　清洗技术中常用英文名词缩写282

参考文献290