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0绪论1

0.1真空测量1

0.2真空计校准2

0.3真空检漏2

0.4真空测量仪器电路及其发展3

0.5真空设备控制技术4

1真空测量概述6

1.1真空度的表征、单位和真空区域划分6

1.2真空计分类8

1.3真空计测量范围9

1.4真空测量的特点和真空计选择原则11

2液位式真空计12

2.1U型管真空计12

2.2压缩式真空计14

3弹性变形真空计和粘滞性真空计22

3.1弹性元件真空表22

3.2电容式薄膜真空计23

3.3振膜真空计26

3.4磁悬浮转子真空计28

4热传导真空计31

4.1热传导真空计的工作原理31

4.2热传导真空计的测量范围33

4.3电阻真空计34

4.4热偶真空计37

4.5已知混合气体成分真空度的测量40

4.6热传导真空计的优缺点41

5电离真空计42

5.1热阴极电离真空计的工作原理42

5.2普通型热阴极电离真空计44

5.3热阴极电离真空计的测量电路48

5.4高压力热阴极电离真空计53

5.5超高真空热阴极电离真空计57

5.6冷阴极电离真空计64

5.7放射性电离真空计70

6分压力测量和残余气体分析72

6.1概述72

6.2四极质谱计76

6.3其他质谱计86

6.4识谱技术89

7真空计校准93

7.1概述93

7.2静态膨胀法96

7.3动态流导法99

7.4标准压缩式真空计102

7.5副标准真空计105

8真空测量技术107

8.1气体种类对真空测量的影响107

8.2测量系统对被测系统的影响108

8.3真空规管安装对测量的影响111

8.4特殊条件下的真空测量112

9真空检漏概述114

9.1漏气判断和漏孔表示法114

9.2最大允许漏率的估算115

9.3检漏方法分类117

9.4对检漏方法的要求与选择119

10各种检漏方法120

10.1静态升压法120

10.2气泡检漏法121

10.3氨气检漏法122

10.4真空计检漏法123

10.5离子泵检漏法125

10.6氢—钯检漏法126

10.7荧光检漏法127

10.8放射性同位素检漏法128

10.9慢性漏气的加速检测法129

11真空检漏仪器130

11.1高频火花检漏仪130

11.2卤素检漏仪132

11.3气敏半导体检漏仪134

11.4氦质谱检漏仪135

11.5漏率测量的误差152

11.6真空检漏工作的注意事项152

12标准漏孔155

12.1标准漏孔及其常用的结构形式155

12.2标准漏孔的校准157

12.3标准漏孔使用中应注意的问题157

13真空测量仪器电路159

13.1WZK—1A复合真空计159

13.2DC—3型超高真空计160

13.3ZDZ—2D数字电阻真空计166

13.4数字化热偶真空计168

13.5ZDR—10型微机化电离真空计170

13.6DNB束功率测量系统设计172

14真空设备与系统的自动控制177

14.1真空系统电气控制概述177

14.2真空获得设备控制电路180

14.3真空镀膜机继电器控制电路182

14.4真空热处理炉真空测量与控制电路184

14.5真空冷冻干燥机电加热系统控制188

14.6真空钎焊炉温度测控电路192

14.7镀膜生产线程序控制系统197

14.8真空压力浸漆设备PLC控制系统201

14.9同步辐射光源真空控制系统215

14.10真空冶金设备抽气装置专家系统219

参考文献225