图书介绍

旋转载体用硅微机械振动陀螺【2025|PDF|Epub|mobi|kindle电子书版本百度云盘下载】

旋转载体用硅微机械振动陀螺
  • 王宏伟著 著
  • 出版社： 长春：吉林大学出版社
  • ISBN：9787567743458
  • 出版时间：2015
  • 标注页数：154页
  • 文件大小：28MB
  • 文件页数：162页
  • 主题词：振动陀螺仪

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图书目录

第一章 综述1

1.1 MEMS概述2

1.2 微机械陀螺概述10

1.3 本书研究内容20

第二章 旋转载体用硅微机械陀螺的数学模型23

2.1 硅微机械陀螺工作原理23

2.2 质量运动的数学模型24

2.3 误差分析33

第三章 陀螺力学参数计算37

3.1 微机械陀螺硅振动元件结构37

3.2 硅质量的转动惯量39

3.3 硅振动元件弹性梁的力学分析与计算41

3.4 硅振动元件的振动阻尼48

第四章 电容敏感59

4.1 电容敏感59

4.2 静电吸合66

第五章 陀螺力学性能分析71

5.1 载体旋转角速率对输出信号的影响71

5.2 固有频率、阻尼比和相位角75

5.3 温度对阻尼系数的影响77

5.4 有限元分析和仿真80

第六章 信号检测电路87

6.1 电路组成87

6.2 电路分析91

6.3 电路的温度误差99

第七章 硅振动元件制作工艺107

7.1 湿法腐蚀107

7.2 硅振动元件加工工艺流程109

7.3 工艺详细步骤110

第八章 陀螺部件的制作及整体封装121

8.1 陀螺结构组成121

8.2 陶瓷极板的制作124

8.3 “三明治”敏感元件的粘接129

8.4 敏感元件与外壳底座的粘接及电极引线的焊接131

8.5 外壳底座与外壳盖的粘接132

8.6 外壳的封接133

第九章 陀螺性能测试137

9.1 陀螺常温性能的测试137

9.2 理论计算与实验结果比较141

9.3 理论计算与实验结果的误差分析142

参考文献147

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