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目录1

前言1

第一章表面粗糙度概述1

一、表面粗糙度1

二、表面粗糙度对零件功能的影响1

1．对摩擦和磨损的影响1

2．对疲劳强度的影响2

3．对接触刚度的影响2

4．对耐腐蚀性的影响3

5．对配合性能的影响3

6．对机械和仪器工作精度的影响4

第二章表面粗糙度的评定参数5

1．轮廓算术平均偏差Ra6

一、表面粗糙度纵向评定参数6

2．轮廓微观不平度十点高度Rz7

3．轮廓均方根偏差Rq7

4．轮廓最大高度Rq8

5．表面粗糙度参数的平均值R8

6．轮廓微观不平度的平均高度Ro8

7．轮廓最大峰高Rp9

8．轮廓最大谷深RM9

9．平均深度Ru9

10．填平深度Ru和填平系数Kp9

二、表面粗糙度横向评定参数10

1．轮廓微观不平度的平均间距Sm10

2．轮廓的单峰平均间距S11

5．轮廓展开长度Lo和轮廓长度比lo12

6．轮廓峰密度D12

4．轮廓算术平均波长λA12

3．轮廓均方根波长λq12

三、表面粗糙度形状评定参数13

1．幅度分布13

2．轮廓偏斜度Sk14

3．驼峰度K14

4．轮廓均方根斜率？14

5．轮廓算术平均斜率？15

6．轮廓支承长度ηp15

7．轮廓支承长度率tp和轮廓支承长度率曲线tp（c）15

8．峰顶曲率半径ρ△16

9．峰谷曲率半径ρ？16

四、表面粗糙度综合评定参数16

1．自相关函数尺（τ）和相关长度a16

2．功率谱密度函数P（ω）17

3．轮廓峰数HSC18

第三章表面粗糙度标准和表面粗糙度选用19

一、表面粗糙度标准的发展19

二、表面粗糙度标准介绍20

三、表面粗糙度代号及其注法23

四、表面粗糙度的选用27

五、各国表面粗糙度评定参数及数值系列对照35

第四章表面粗糙度测量概述43

一、表面粗糙度测量技术的发展43

二、表面粗糙度测量方法的分类44

三、表面粗糙度的测量基准46

1．中线制46

2．包络线制47

四、表面粗糙度测量的规定48

1．测量方向48

—2．取样长度（基本长度）l48

3．评定长度（测量长度）l?51

4．表面缺陷52

五、测量仪器的校准53

第五章 比较判别法55

一、目测法55

二、触觉法58

三、比较显微镜判别法58

四、实体剖面法60

第六章光学测量法61

一、光切法与光切显微镜61

1．光切显微镜的工作原理61

2．光切显微镜的结构62

3．光切显微镜的使用67

4．表面粗糙度的光切法二维测量83

二、干涉法与干涉显微镜85

光的干涉现象与干涉条纹86

2．干涉条纹的弯曲与表面微观不平度88

3．干涉显微镜的光源88

4．实现显微干涉法的几种方式88

5．干涉显微镜的测量范围89

6．干涉显微镜的误差分析92

7．干涉显微镜的检定95

8．6J型干涉显微镜95

9．6JA型干涉显微镜102

10．内表面干涉显微镜…………………………………………………………………………………10?11．其它典型的干涉显微镜108

第七章光学实时测量113

一、光学散射法113

1．镜反射法114

2．积分散射法114

1．单幅散斑法115

二、光学散斑法115

4．角分布法115

3．漫反射比法115

2．干涉散斑法118

三、光纤法119

第八章电学测量法123

一、针描法与轮廓仪123

1．机械式、光学-机械式轮廓仪128

2．感应式轮廓仪129

3．电感式轮廓仪133

4．压电式轮廓仪156

5．光电式轮廓仪165

二．电容测量法169

三、微型计算机在表面粗糙度测量中的应用171

1．一维和二维参数的测量171

2．三维参数的定义和数学模型172

3．三维参数的测量和计算173

第九章其它测量法176

一、全息干涉测量法176

1．单波长全息干涉测量法176

2．双波长全息干涉测量法177

二、气动测量法177

三、电子显微镜测量法179

四、微波测量法179

五、光栅测量法180

六、光学传感测量法181

七、频谱分析法182

八、统计检验法183

九、印模测量法185

参考文献187