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第1章 概论1

1.1 陶瓷的种类及性能1

1.2 陶瓷表面技术概况5

参考文献7

第2章 陶瓷PVD8

2.1 PVD的种类及特点8

2.2 真空蒸镀12

2.2.1 真空蒸镀的原理与特征12

2.2.2 真空蒸镀的设备及工艺14

2.2.3 蒸发源15

2.2.4 蒸镀膜的性能标准及测试17

2.2.5 陶瓷反应性蒸镀17

2.3 陶瓷激光PVD21

2.3.1 CO2激光蒸镀陶瓷膜的性能和特点22

2.3.2 激光蒸镀与N离子辐射并用26

2.3.3 陶瓷激光蒸镀的应用29

2.4 陶瓷离子PVD33

2.4.1 离子镀的原理及特点33

2.4.2 HCD法的工作原理及特点34

2.4.3 HCD-ARE法的工作与应用38

2.4.4 阴极多弧离子镀40

2.4.5 陶瓷离子镀的应用实例43

2.4.6 陶瓷离子镀的新进展50

2.5 溅射成膜52

2.5.1 溅射原理及特点52

2.5.2 溅射方式52

2.5.3 溅射设备与工艺54

2.5.4 陶瓷溅射技术的应用59

参考文献61

第3章 陶瓷CVD62

3.1 CVD的基本原理62

3.1.1 CVD的基本过程63

3.1.2 CVD的化学反应形态64

3.2 CVD的工艺与装置66

3.2.1 基本工艺66

3.2.2 典型的CVD装置68

3.3 CVD的成膜过程74

3.3.1 CVD的成膜条件74

3.3.2 各种陶瓷CVD膜层的种类及其性能78

3.4 陶瓷CVD的应用85

3.4.1 热CVD陶瓷膜的应用85

3.4.2 陶瓷等离子（P）CVD的应用90

3.4.3 陶瓷激光（L）CVD的应用90

3.5 CVD技术的发展展望90

参考文献91

第4章 能束表面陶瓷合金化和熔覆92

4.1 激光、电子束表面合金化与熔覆过程92

4.2 陶瓷的激光合金化与熔覆93

4.2.1 陶瓷激光合金化93

4.2.2 陶瓷激光熔覆104

4.2.3 陶瓷激光熔覆的应用及其研究108

4.3 电子束合金化与熔覆111

4.3.1 电子束改性原理111

4.3.2 电子束表面合金化、熔覆改性的特点111

4.3.3 电子束表面改性设备112

4.3.4 电子束陶瓷表面合金化、熔覆工艺及其应用114

参考文献115

第5章 陶瓷电火花涂敷［1］与自蔓延高温合成116

5.1 电火花涂敷116

5.1.1 电火花涂敷设备及其工作原理117

5.1.2 电火花表面涂敷的技术特点122

5.1.3 电火花涂敷工艺123

5.1.4 涂敷层的特性分析124

5.1.5 陶瓷电火花涂敷层的应用134

5.2 陶瓷自蔓延高温合成简介［3］139

5.2.1 概述139

5.2.2 自蔓延高温合成技术的特点142

5.2.3 SHS燃烧合成陶瓷涂层技术142

参考文献149

第6章 陶瓷热喷涂151

6.1 概述151

6.1.1 热喷涂原理151

6.1.2 热喷涂的分类及特点153

6.1.3 热喷涂的基本工艺及设备156

6.1.4 热喷涂一般材料158

6.2 氧—乙炔火焰热喷涂与喷熔167

6.2.1 氧—乙炔火焰喷涂的原理、工艺设备及其特点167

6.2.2 氧—乙炔火焰喷熔169

6.3 陶瓷爆炸热喷涂175

6.3.1 氧—乙炔爆炸热喷涂的原理、特点及装置176

6.3.2 陶瓷爆炸热喷涂材料的种类180

6.4 陶瓷等离子热喷涂186

6.4.1 等离子喷涂的原理及特点187

6.4.2 等离子喷涂设备190

6.4.3 等离子喷熔设备198

6.4.4 等离子喷涂工艺200

6.4.5 陶瓷等离子喷涂技术的应用207

6.4.6 真空（减压）等离子喷涂217

6.5 其它热喷涂方法简介220

6.5.1 液体燃烧法220

6.5.2 高频热喷涂221

6.5.3 激光喷涂与喷熔221

6.5.4 电弧线材喷涂222

6.6 热喷涂技术的新发展225

6.6.1 超声速热喷涂225

6.6.2 水稳等离子喷涂231

6.6.3 复合热喷涂处理技术232

6.7 热喷涂层的检测234

6.7.1 外观检测236

6.7.2 涂层厚度检测236

6.7.3 涂层力学性能和常规性能检测237

6.7.4 涂层孔隙率的测定240

6.7.5 涂层的功能性测定242

6.7.6 涂层结构和金相检测244

参考文献248

第7章 表面分析与测试249

7.1 表面分析［1］249

7.1.1 表面形貌和显微组织分析249

7.1.2 表面成分、结构及其状态分析252

7.2 显微镜和测试技术简介259

7.2.1 电子显微镜（EM）259

7.2.2 场离子显微镜（FIM）261

7.2.3 扫描隧道显微镜（STM）［2］262

7.2.4 原子力显微镜［3］（AFM）263

7.3 材料结构分析与仪器264

7.3.1 X射线衍射265

7.3.2 电子衍射266

7.3.3 X射线光谱仪和电子探针267

7.3.4 质谱仪和离子探针269

7.3.5 激光探针270

7.3.6 电子能谱仪270

7.3.7 弹道电子发射显微技术［4］275

7.3.8 扫描近场光学显微镜和光子扫描隧道显微镜276

参考文献277