图书介绍

引信用MEMS开关设计方法【2025|PDF|Epub|mobi|kindle电子书版本百度云盘下载】

刘双杰，郝永平著著
出版社：北京：国防工业出版社
ISBN：9787118116564
出版时间：2018
标注页数：135页
文件大小：21MB
文件页数：144页
主题词：引信－弹性元件－设计

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图书目录

第1章绪论1

1.1MEMS技术的概述2

1.1.1MEMS的概念和特点2

1.1.2MEMS技术的发展4

1.2MEMS技术在军事中的应用8

第2章 MEMS开关分类11

2.1加速度计开关11

2.2RF MEMS开关13

2.3机电耦合开关16

2.4MEMS惯性开关17

2.5引信用MEMS开关的特点22

2.5.1目前引信用开关存在的问题23

2.5.2引信特殊环境对MEMS惯性开关性能需求24

第3章开关多物理场26

3.1结构场26

3.1.1变截面积悬臂梁的刚度计算26

3.1.2S形折叠悬臂梁刚度计算29

3.1.3S形折叠悬臂梁刚度的有限元仿真36

3.2静电场38

3.2.1静电驱动原理38

3.2.2静电吸合效应39

3.2.3负弹簧效应的影响41

3.3静电-结构耦合特性分析42

3.3.1等效刚度法静电-结构耦合分析42

3.3.2模态叠加法静电-结构耦合分析43

3.3.3有限元反馈法静电-结构耦合分析44

3.4阻尼场49

3.4.1滑膜阻尼50

3.4.2压膜阻尼51

3.4.3悬臂梁的流-固耦合的压膜阻尼模型53

第4章影响引信MEMS惯性开关性能的主要因素62

4.1开关的响应时间62

4.2开关的闭合可靠性64

4.3开关的接触电阻67

4.3.1接触形式的影响67

4.3.2接触材质的影响68

4.3.3接触电阻的计算69

第5章典型开关的设计与分析72

5.1阈值可调的悬臂梁开关的设计与分析72

5.1.1模型的建立73

5.1.2开关基本工作原理74

5.1.3开关工作性能仿真77

5.1.4抗过载性能仿真91

5.1.5尺寸参数对开关性能的影响分析91

5.1.6加工误差仿真分析96

5.2环形无源万向惯性开关的设计与分析98

5.2.1开关基本工作原理99

5.2.2开关工作性能仿真101

5.2.3抗过载性能仿真109

5.2.4开关工艺流程110

5.2.5开关封装工艺114

5.3低g值惯性开关的设计与分析115

5.3.1模型的建立115

5.3.2开关工作性能的仿真116

5.3.3低g值开关的模态仿真118

第6章典型开关测试技术121

6.1MEMS器件测试的基本原理与方法121

6.2开关静态实验测试122

6.2.1尺寸检测122

6.2.2接触电阻检测125

6.3开关冲击实验测试125

6.3.1开关阈值测试125

6.3.2开关抗高过载性能测试126

参考文献129