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第一章 单晶硅的基本知识1

第1节 晶体和非晶体1

第2节 单晶和多晶5

第3节 空间点阵和晶胞6

第4节 晶面和晶向10

第5节 晶体的熔化与凝固11

第6节 结晶过程的宏观特征12

第7节 晶核的形成与晶体的生长14

第二章 直拉单晶炉18

第三章 直拉单晶炉的热系统及热场20

第1节 热系统简介20

第2节 热系统的安装与对中21

第四章 原辅材料的准备23

第五章 硅原料28

第1节 硅简介28

第2节 石英坩埚29

第六章 直拉单晶硅生长技术30

第1节 单晶硅生长技术30

第2节 单晶硅生产过程中对周围环境的影响33

第七章 铸锭多晶硅工艺35

第1节 光伏产业简介35

第2节 铸锭多晶硅炉的结构36

第3节 铸锭多晶硅工艺流程39

第八章 纯水的制备40

第1节 水的概述40

第2节 离子交换法简介40

第3节 去离子水的制备工艺41

第4节 纯水的制备43

第九章 工业硅的生产48

第1节 工业硅生产原理及影响因素48

第2节 影响工业硅产品质量的因素以及对策52

第3节 工业硅生产工艺54

第4节 工业硅生产操作58

第5节 熔炼设备的选择61

第6节 生产操作及安全控制62

第十章 氢气的制备和净化66

第1节 氢气的简介66

第2节 氢气的生产工艺71

第3节 制氢工艺76

第4节 氢气的净化、储存和运输94

第5节 氢气的安全使用106

第十一章 液氯的汽化110

第1节 氯气110

第2节 液氯的汽化112

第3节 氯的存放和安全使用113

第十二章 氯化氢的合成119

第1节 氯化氢的性质119

第2节 氯化氢的合成原理120

第3节 氯化氢合成工艺过程121

第4节 主要设备及其作用123

第5节 工艺条件选择和操作要点125

第十三章 三氯氢硅的合成132

第1节 三氯氢硅制备原理132

第2节 三氯氢硅合成工艺流程134

第3节 三氯氢硅的合成设备140

第4节 影响三氯氢硅合成的因素140

第十四章 三氯氢硅的提纯144

第1节 三氯氢硅提纯的方法144

第2节 三氯氢硅中痕量杂质分析144

第3节 精馏的基本概念145

第4节 三氯氢硅的提纯151

第十五章 三氯氢硅氢还原制备高纯多晶硅153

第1节 高纯多晶硅生产工艺简介153

第2节 三氯氢硅氢还原反应基本原理154

第3节 三氯氢硅工艺158

第4节 四氯化硅氢化164

第十六章 多晶硅尾气回收与处理168

第1节 冷冻法168

第2节 干法回收技术169

第十七章 硅芯的制备与腐蚀175

第1节 硅芯的制备175

第2节 硅芯的腐蚀176

第十八章 硅烷法制备高纯硅177

第1节 多晶硅生产工艺概述177

第2节 热解硅烷法概述177

第3节 热解硅烷法工艺178

参考文献183