图书介绍

国外半导体电子束曝光离子注入技术动向【2025|PDF|Epub|mobi|kindle电子书版本百度云盘下载】

上海科学技术情报研究所编写著
出版社：上海科学技术情报研究所
ISBN：
出版时间：1972
标注页数：34页
文件大小：7MB
文件页数：37页
主题词：

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图书目录

电子束曝光技术动向1

一、电子束曝光技术的发展概况2

二、几种电子束曝光方法3

三、电子束曝光的应用概况5

四、几点情况8

参考资料13

离子注入技术动向15

一、国外离子注入法研究概况16

二、离子注入半导体器件动向17

三、离子注入设备动向24

四、离子注入技术动向27

参考资料34